Les MEMS, micro electro mecanical systems, ou microsystèmes électromécaniques sont issus des progrès de la technologie en matière de miniaturisation.
Comme le montre l'exemple ci-contre d'un dispositif d'engrennages et d'une chaine dont l'échelle, indiquée en haut à gauche de l'image, permet d'apprécier les dimensions.
Les mems contrairement à la micro électronique contiennent des parties mobiles, ils ouvrent aussi vers l'optique, le biologique.
Leurs domaines de prédilection sont les capteurs, couplés avec les systèmes de traitement de l'information ils ouvrent la voie à une multitude d'applications.
Les plus importantes sont présentées sur les pages suivantes.